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前期進氣要預處理到位，比如噴淋、過濾，等離子等，要保證進氣無固定污染物（否則燈管表面附著物過多短波紫外線很難透過），然后讓主要有機無機廢氣成份經過雙波段紫外線燈的光解反應區，然后讓氣體再經過254納米波長單波段光催化輔助反應區，在這個反應區一是光催化分解，另外更重要的一點是254nm波長紫外線會大量分解掉反應完過量的O3臭氧（困為排放到大氣中的O3也是一種污染原），使O3還原成氧氣，在末端再加上一至兩層臭氧催化網分解掉殘余的少量臭氧，這樣排放出來的空氣則潔凈如新。 放電過程中雖低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理的一種原理。